Công nghệ quang khắc cực tím (EUV - Extreme ultraviolet lithography) có kích thước rất lớn, tương đương với một chiếc xe buýt trường học và có giá cả đắt đỏ. Chỉ có công ty ASML của Hà Lan mới có khả năng sản xuất những máy này để khắc các mẫu mạch điện trên tấm silicon. Khi kích thước của các con chip ngày càng nhỏ và chứa hàng tỷ bóng bán dẫn, việc sản xuất những mẫu mạch mỏng hơn cả tóc người đòi hỏi sự xuất hiện của các máy EUV.
Thế hệ máy EUV mới nhất, được gọi là EUV High-NA, dự kiến sẽ được áp dụng để hỗ trợ sản xuất chip trên quy trình 2nm trở xuống. Vào tháng 12 vừa qua, Intel đã trở thành công ty đầu tiên đầu tư vào máy này với giá 400 triệu USD và có kế hoạch sử dụng chúng để sản xuất chip sử dụng nút quy trình 1,8nm 18A (18 angstrom) bắt đầu từ năm sau (với số lượng hạn chế).
Cách đây vài năm, Intel đã cam kết sẽ tái chiếm vị trí dẫn đầu về quy trình sản xuất chip so với TSMC và Samsung Foundry. Hai nhà máy sản xuất này dự kiến sẽ đạt tiến trình 2nm vào nửa cuối năm tới. Tuy nhiên, mục tiêu chính của Intel là nắm vững việc sử dụng máy móc một cách hoàn hảo để đảm bảo không gặp vấn đề gì khi sản xuất số lượng lớn bằng quy trình 14A (1,4nm) dự kiến bắt đầu vào năm 2027.
Trên thực tế, việc sử dụng các bóng bán dẫn nhỏ hơn trong chip cho phép chứa nhiều bóng bán dẫn hơn, và số lượng bóng bán dẫn càng lớn thì hiệu suất và tiết kiệm năng lượng của con chip càng cao.
Năm 2019, chiếc iPhone 11 được trang bị vi xử lý A13 Bionic 7nm với 8,5 tỷ transistor. Trái lại, vi xử lý A17 Pro 3nm (trong cặp iPhone 15 Pro và iPhone 15 Pro Max 2023) chứa 19 tỷ transistor trong mỗi chip.
Intel đã mua máy Twinscan EXE:5000 High-NA EUV từ ASML và ASML đã giao cho Intel 250 thùng riêng biệt, nặng tới 330.000 pound. Mặc dù thiết bị này đã được lắp đặt tại nhà máy của Intel nhưng sẽ phải mất 6 tháng làm việc của 250 kỹ sư ASML và Intel để lắp đặt hoàn toàn. Ngoài ra, Intel có thể mất vài tuần hoặc vài tháng để hiệu chỉnh máy in ở 8nm so với 13nm mà các máy EUV Low-NA hiện tại in ra.
ASML thông báo rằng họ đã nhận được 10-20 đơn đặt hàng máy EUV NA cao từ các công ty như TSMC, Samsung Foundry và SK Hynix.
