Chỉ có công ty ASML (Hà Lan) trên toàn cầu mới có khả năng sản xuất máy EUV, một thiết bị cỡ bằng một chiếc xe buýt trường giá trị 200 triệu USD, được sử dụng để khắc các mẫu mạch điện mỏng hơn cả sợi tóc trên tấm wafer silicon. EUV là thiết yếu để tạo ra những đường vi mạch cực kỳ tinh xảo, để chứa hàng tỷ bóng bán dẫn được gắn kết trong các con chip tiên tiến.
Canon vừa công bố công nghệ in thạch bản nanoimprint (NIL) mà hãng cho biết có thể sử dụng để sản xuất chip 5nm. Máy EUV đang được TSMC và Foundry sử dụng để sản xuất chip 3nm với một máy nâng cấp từ ASML sắp ra mắt để xử lý sản xuất 2nm. Cả hai xưởng đúc dự kiến sẽ sản xuất chip 2nm ngay sau năm 2025. Nhưng thông báo của Canon lại nhận nhiều sự quan tâm.
Tuy nhiên, Canon công bố rằng các cải tiến công nghệ của NIL hứa hẹn có thể giúp tạo ra chip 2nm. Hiện tại, công nghệ này có thể khắc các mẫu mạch có băng thông ít nhất là 14nm, tương đương với quy trình sản xuất 5nm. Canon cho biết NIL dự kiến sẽ hỗ trợ băng thông ít nhất là 10nm, tương đương với việc xây dựng chip sử dụng quy trình 2nm. NIL có thể giảm lượng điện năng sử dụng để sản xuất chip bởi vì nó không đòi hỏi nguồn sáng có bước sóng đặc biệt.
Sau khi nhận được thông tin từ Canon, nhà phân tích Gaurav Gupta của Gartner đã bày tỏ sự ngạc nhiên lớn đối với sự tiến bộ kỹ thuật mà Canon đã đạt được. Công nghệ NIL đã tồn tại trong một thời gian dài, tuy nhiên vẫn còn những vấn đề về khuyết điểm và các vấn đề khác tồn tại. Ví dụ, SK Hynix, nhà sản xuất chip nhớ, và Toshiba, công ty điện tử, đã ký kết một hiệp định vào năm 2015 để phát triển công nghệ NIL.
Máy EUV của ASML có kích thước lớn như một chiếc xe buýt.
Tuy nhiên, Mỹ sẽ phải khắc phục một vấn đề ngay lập tức. Công ty ASML không thể phân phối máy EUV của mình tới Trung Quốc do sự cấm vận từ Mỹ, tuy nhiên, có thể Canon sẽ chuyển giao công nghệ này cho Trung Quốc thông qua việc sử dụng hệ thống quang học hoặc gương tiên tiến như EUV. Điều này nhằm hỗ trợ các nhà máy đúc như SMIC trong việc sản xuất chip 5nm, cuối cùng là 3nm hay 2nm.
Gần đây, các nhà lập pháp và quan chức Mỹ đã có phản ứng mạnh mẽ khi Huawei tung ra phiên bản Mate60 Pro, được trang bị chip Kirin 9000S 7nm hỗ trợ công nghệ 5G. Đến nay, vẫn còn nhiều giả thuyết phức tạp cố gắng giải thích cách mà SMIC có thể sản xuất chip trước khi bị Mỹ cấm. Một giả thuyết được một chuyên gia X đăng tải vào tuần trước cho rằng chip Kirin 9000S không phải là chip 7nm do SMIC sản xuất, mà là những chip cũ hơn từ kho hàng của Huawei, do TSMC thực hiện trước khi lệnh cấm được ban hành vào năm 2020 bằng phương pháp 5nm.
Gupta nghĩ rằng với những tiến bộ mà Canon đã đạt được và các sự kiện sau khi Huawei giới thiệu Mate60 Pro, Mỹ có thể sớm có biện pháp ngăn chặn việc cung cấp công nghệ này cho Trung Quốc.
